随着我国加入世贸组织，市场对非金属薄膜产品的质量要求越来越严格。薄膜厚度的动态在线检测是控制产品质量的重要环节。国内外生产的薄膜测厚设备都存在着某些缺陷。因此，研制出一种新型的薄膜动态测厚系统，必将大大提高生产厂家的生产率，提高产品的质量，使经济效益得到明显的提高。 本文通过对各种测厚传感器的比较，针对传统的双平行极板式电容传感器存在的诸多缺点，研制出了一种新型的测厚传感器——镖盘状单片式电容传感器。在此基础上，又研制成功了G-5型薄膜动态测厚系统。这种测厚系统可与薄膜生产线配合使用，适用于各种非金属薄膜材料的动态在线测量。测厚系统采用了误差补偿技术和各种抗干扰措施，使动态测量精度达到了微米级，并且适合工作在各种工业现场。 本测厚系统采用了P87LPC767单片机，实现了整机的智能化。本文介绍了单片机系统的软硬件设计，以及与PC机通讯的方法，并详细阐述了建立在虚拟仪器技术上的仪器智能化的实现方法。 在完成静态试验的基础上，在模拟试验台上完成了动态试验，测得了系统的动态技术指标。 总之，本文从理论到实践完成了新型单片式电容传感器设计及动态测厚系统的研制。实现了预期的设计指标。