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【摘 要】
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表面镀膜技术已广泛应用于表面防护、加工制造、半导体、光学器件、装饰等行业。本文通过物理气相沉积(PVD)技术沉积氮化物纳米多层涂层,调控涂层生长结构,打断柱状晶生长结构,利用纳米多层的增硬、增韧及“封孔作用”,制备出具有高硬度、高韧性、结合力好、耐磨性及耐腐蚀性能高的涂层,提高硬质涂层的综合防护效果,从而能够显著改善钛合金基体的摩擦磨损性能及耐腐蚀性能。主要内容如下:利用磁控溅射镀膜技术制备TiN
【出 处】
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广东工业大学
【发表日期】
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2021年06期
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