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【摘 要】
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在超大规模集成电路的互连工艺中，采用合金化Cu种籽层来阻挡Cu扩散的无扩散阻挡结构因其稳定性好、电阻率低以及制备简单等优点而受到广泛的关注。本文以稳定固溶体模型为基础
【机 构】
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大连理工大学
【出 处】
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大连理工大学
【发表日期】
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2014年期
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