传感器技术作为现代科学技术及各项领域的重要技术基础，是当今世界上令人瞩目、迅猛发展的一种高新技术，是一个国家科学技术发展和综合实力的重要标志之一。作为传感器的一个重要分支，加速度传感器受到了越来越多的关注。电容式加速度传感器因其灵敏度高、功耗低、温漂小、结构简单可靠、非侵入式安装等特点，一直是加速度传感器敏感结构的设计重点。论文在分析变间隙差动电容式加速度传感器原理及传感器输出信号特点的基础上，针对微小电容变化量的测量，设计并制作了改进型张弛振荡测量电路；并对电路进行了性能测试，测试结果表明该电路在灵敏度、分辨率、非线性度、零漂等方面均具有良好性能。针对测量电路的输出信号，设计了以DSP为核心的数据采集与处理系统，实现测量数据的处理及上传功能。上位机基于LabVIEW虚拟仪器软件设计，实现串口数据的读取、文本与曲线结合的显示以及测量数据完整存储等功能。最后，对整个测量系统进行标定和应用实验验证，结果表明，所设计的差动电容式加速度传感器测量系统运行良好，可以实时准确的显示被测物体的加速度值。该测量系统可广泛应用于工业自动化、汽车安全气囊、医疗设备等领域，具有良好的推广应用价值。