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喷雾热解技术被广泛用于制备各种薄膜材料,其相关工艺参数的控制是获得高质量薄膜的关键。近几年,人们把重点放在如何利用各种手段使雾滴变得更小,更均匀分散,从而利于在纳米尺度或更小尺度范围内的材料制备。硫化物纳米薄膜因具有许多特殊性质而被广泛应用,其制备方法也是多元化的,而改进的超声喷雾热解技术,因其自身的许多优势,常被用来制备硫化物纳米薄膜,并取得好的效果。论文主要包括以下三个部分:(一)分析了喷雾热解技术的发展过程及现状,从而在此基础之上,改进了超声喷雾