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来源 :电子科技大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,简称BST)薄膜具有非线性强、漏电流小、居里温度可调等特点,因而在介质移相器、压控滤波器等方面有着广泛的应用前景。本文通过对BST 薄膜的制备工艺
【作 者】
:
陈宏伟
【机 构】
:
电子科技大学
【出 处】
:
电子科技大学
【发表日期】
:
2005年期
【关键词】
:
钛酸锶钡
铁电薄膜
成膜工艺
微观结构
铁电性能
尺度效应
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