本论文的主要工作是用溶胶-凝胶法制备SiO 2 波导材料和Sn-SiO₂ 波导材料,研究了Sn-SiO₂ 对248nm准分子激光的光敏现象及机理。首先介绍了SiO₂光波导在集成光学中的应用,制备方法。我们为用激光诱导折变制作列阵波导光栅选用了溶胶-凝胶法来合成SiO₂光波导材料。其次介绍了溶胶凝胶的原理。分析了反应物,催化剂对胶体的影响。我们用TEOS来合成SiO₂胶体,旋涂于Si片上,干燥后烧结。用红外和拉曼光谱分析了烧结对SiO₂结构的影响。制得了膜厚4860nm,折射率为1.458 的SiO₂薄膜。合成了Sn-SiO₂光波导材料,制得Sn-SiO₂薄膜膜厚5230nm,折射率1.4672。用248nm准分子激光照射Sn-SiO₂ 波导材料,发现了其折射率因光照而增大。含1%Sn的Sn-SiO₂经10Hz,500mJ/cm2的248nm准分子激光照射30 分钟后,其于1550nm处的折射率变为1.482。最大折射率改变为1.02%。用紫外吸收,X光电子能谱,自旋共振等分析了光敏机理。发现光照后Sn产生了sp3非配对电子,形成了Sn E′中心。这是导致光敏的主要原因。我们合成了Er,Sn共掺的SiO₂光波导材料。发现其仍有强的光敏性,Er3+也表现出了典型的光致发光。为进一步研制光敏放大器打下了基础。我们提出了用紫外激光诱导Sn-SiO₂材料制作AWG的方法。设计了需要用的版图。