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【摘 要】
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本课题来源于微机械加速度计中反馈控制的需求。加速度计的反馈方式一般分为静电反馈和磁反馈。静电反馈容易控制、精度高，但静电力较小、提供的反馈力较小；磁反馈可以提供较大
【机 构】
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华中科技大学
【出 处】
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华中科技大学
【发表日期】
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2014年期
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