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【摘 要】
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弱磁探测作为研究物质特性和探测未知世界的一种有效手段,已经在各个领域得到了广泛的应用。但是近年来,随着现代科技的快速发展,人们对磁场传感器的灵敏度和尺寸结构提出了更高的要求,如何去提高磁场传感器的灵敏度和减小磁场传感器的尺寸成为了各个国家在磁场领域研究的热点。但是,在保证磁场传感器正常工作的前提下,如何在噪声中提取微弱的信号是具有极其重要的研究价值。在传统的磁场探测中,对微弱信号的提取主要采用双光
【机 构】
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电子科技大学
【出 处】
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电子科技大学
【发表日期】
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2021年01期
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不断革新的半导体工艺促使传统传感器不断向着小型化、智能化、多功能化发展,其中,对电容式微型气体/湿度传感器的研究也在MEMS技术和CMOS技术的带动下不断进步。本论文将聚焦于影响电容型微湿度传感器湿敏性能的敏感结构,针对目前存在的响应恢复时间长、制备工艺复杂等缺点,开展三维微结构设计与加工、传感器敏感薄膜制备及湿敏特性研究,具体研究内容如下:设计了四种电容式化学传感器的新结构。（1）穿孔平板电容式
甲烷是一种无色无味的气体,广泛分布于煤矿、沼气池、深海可燃冰气田等能源开采区域,但是由于自身易燃易爆的性质,一旦发生爆炸将给人们生命和财产安全带来危害,所以受到研究人员的高度关注。为了工业生产中的环境安全维护,实现环境甲烷浓度的实时监测,SnO2半导体甲烷传感器由于所用材料性能相对为稳定、成本低廉、气敏响应效果好、制备流程简单,已经成为最早投入研究生产的气体传感器。目前SnO2甲烷传感器存在工作温
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