碳是自然界中蕴藏很丰富的元素，由相同的碳原子可以构成多种性质截然不同的物质。近二、三十年来，全世界有很多科学家在利用不同的方法制备和研究着碳基材料，其中包括有人造石墨、金刚石、金刚石薄膜、富勒烯和碳纳米管等。本文首先对石墨、金刚石、金刚石薄膜、富勒烯和碳纳米管等碳基材料的研究现状、应用前景、晶体结构及每种材料的Raman光谱测试进行了综述；其次介绍了制备金刚石膜过程中的基片处理、HZDH微波实验设备、工艺参数等；之后利用X射线衍射(XRD)、Raman光谱等手段对两种硅基片的结构、晶格参数进行了测试分析；同时利用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、Raman光谱等手段对金刚石膜进行了表征和测试。验证了伴随着激发光波长的增加，金刚石膜的Raman光谱特征峰强度随之减小的规律。对于本实验室的激发光为1064nm的Raman光谱仪测试的金刚石Raman光谱特征峰不明显的情况，分别作出了Si基片和金刚石膜的Raman谱，并进行了差谱处理，结果得到了明显的纳米金刚石和金刚石的Raman谱峰。为红外光作为激发光测试样品谱峰不明显的问题，提供了一条解决问题的途径。