溶胶-凝胶法制备YBa<,2>Cu<,3>O<,7-x>超导材料的研究

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目前,磁控溅射,激光脉冲沉积,化学气相沉积等工艺是制备YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导薄膜的主流方法,但因为涉及真空设备而成本较高。而溶胶-凝胶法(sol-gel)因低成本,设备简单,能大面积制备各种陶瓷薄膜而倍受研究者重视,且最近也逐渐应用于超导薄膜的制备上。本文旨在通过溶胶-凝胶法制备具有钙钛矿结构的YBCO超导薄膜,能为将来在金属带材或半导体硅基底上大批量生产YBCO超导薄膜做一些基础研究
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