【摘 要】
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该文对消光式自动椭偏测量系统进行了深入研究,并在此基础上研制了消光式和光度式兼容的自动椭偏测量系统.该文研制的消光式和光度式自动椭偏测量系统既能用消光法进行精确测
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该文对消光式自动椭偏测量系统进行了深入研究,并在此基础上研制了消光式和光度式兼容的自动椭偏测量系统.该文研制的消光式和光度式自动椭偏测量系统既能用消光法进行精确测量,也能用光度法进行快速测量.该仪器能测量不同均匀材料和单层薄膜的相关光学参数.该仪器具有入射角连续可调、体积小、造价低、测量精确度高、自动化和实用化程度高的特点.
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