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该文提出了高精度视频图像对准系统的软、硬件解决方案,并在接触接近式深紫外光刻机URE-2000A上得到了成功应用,其对准精度远远超过系统要求指标,可以满足亚微米光刻机的要求.该文着重讨论高精度数字图像对准系统的数字图像处理算法及其软件实现,在算法研究中,提出了新的改进的亚像素精确定位算法,有效提高了定位精度.并叙述了使用Visual C++实现可共享的数字图像处理的动态连接库(DLL).