【摘 要】
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该文开始回顾了高温超导材料的发展简史,介绍了超导技术在现实中的应用并简单总结了高温超导薄膜的通用制备方法和分析方法.用衬底诱导非晶外延生长的方法制备T1-2212超导薄
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该文开始回顾了高温超导材料的发展简史,介绍了超导技术在现实中的应用并简单总结了高温超导薄膜的通用制备方法和分析方法.用衬底诱导非晶外延生长的方法制备T1-2212超导薄膜.整个薄膜的生长过程采用二步法:首先是沉积先驱膜,然后先驱膜在Ar气氛中经高温热处理生成外延超导薄膜.对T1-2212超导薄膜进行了T<,c>、J<,c>、膜厚度、X-光和SEM等各种测试.我们制作了厚度为300nm直径2英寸的双面T1-2212薄膜(LAO(001)衬底),为了检测所制备的双面大积超导薄膜T<,c>的均匀性,我们设计并制成了能够在直径2英寸范围内同时检测13个不同位点T<,c>的无损测试系统.结果显示,在大面积范围内的T<,c>值高于100K,且均匀性好.对其他的特性测试结果进行分析后表明,微波表面电阻小(测试结果为510μΩ),厚度较均匀,J<,c>在MA/cm<2>数量级并且X-光和电镜分析结果表明薄膜结构完整且表面平滑致密.
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