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【摘 要】
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大量的薄膜激光损伤实验表明，薄膜中的杂质污染是导致薄膜激光损伤的重要诱因，抑制薄膜中污染的产生和缺陷的形成是提高其激光损伤阈值的一个主要途径。因此，探究薄膜污染的来源
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【发表日期】
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2007年期
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