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利用复合离子镀技术在304不锈钢表面制备了不同沉积气压下的TiCN薄膜和不同调制周期的TiN/TiCN多层膜。研究了沉积气压及调制周期对薄膜表面形貌、表面成分、相结构,表面粗糙度、硬度、摩擦系数及在3.5%NaCl、1mol/L H2SO4、0.5mol/L NaOH溶液中的电化学腐蚀性能的影响。研究结果表明,随着沉积气压的增大,TiCN薄膜表面大颗粒污染情况减轻,膜层成分越来越均匀,膜层显微硬度逐渐增大,摩擦系数及磨损量逐渐减小。沉积气压为0.6Pa下制备的TiCN薄膜表面质量最好,(Ti,C)/N约为1：1,硬度为2495.5HV,摩擦系数为0.386,磨损量为0.4mg。TiN/TiCN多层膜有利于改善薄膜表面质量,摩擦系数及磨损量均比TiCN单层膜低。调制周期T=2的多层膜表面质量最好,T=4的多层膜出现了超硬现象,硬度值为2921.3HV,摩擦系数为0.296,磨损量仅为0.1mg。TiCN、TiN/TiCN薄膜均由TiCN、Ti2N、Ti相组成,表现出(111)晶面择优生长。在3.5%NaCl溶液中,随着沉积气压的增大,TiCN薄膜的耐蚀性增强,0.6Pa下制备的TiCN薄膜自腐蚀电位最高为23.281mV,相对腐蚀速度是TiN薄膜的0.33倍；不同调制周期的TiN/TiCN多层膜均有利于提高膜层的耐蚀性,自腐蚀电流密度数量级为10-7均比TiCN单层膜的低了一个数量级,其中T=2时的多层膜耐蚀性最好；随浸泡时间的延长TiCN单层膜表面“粗化”严重,而TiN/TiCN多层膜表现为窄而深的孔洞形貌。在1mol/LH2SO4溶液中,0.6Pa时的TiCN薄膜的维钝电流密度和自腐蚀电流密度均比TiN薄膜的低了一个数量级,电荷转移电阻Rt值为70950Ω-·cm2是同等条件下制备的TiN薄膜Rt值的35倍；而不同调制周期的TiN/TiCN多层膜耐酸腐蚀性均不如TiCN单层膜,极化前的R1值均比TiCN低很多,T=2的多层膜Rt值最高为7698Ω·cm2；极化腐蚀后多层膜的自修复能力较单层膜弱；TiCN单层膜表现为形状不规则的宽而深蚀坑形貌,而TiN/TiCN多层膜表现为连续腐蚀区形貌。在0.5mol/L NaOH溶液中,随着沉积气压的增大,TiCN薄膜的电荷转移电阻Rt减小,动电位极化后0.6Pa时TiCN的Rt值为2.552x105Ω·cm2,是极化前的71倍；TiN/TiCN多层膜的自腐蚀电流密度数量级为10-7比TiCN单层膜的低了一个数量级；动电位极化后,TiN/TiCN多层膜的Rt值均小于TiCN单层膜的Rt值,多层膜的耐碱腐蚀性高于单层膜：TiCN单层膜表现为尺寸较小分布均匀的腐蚀浅坑形貌,而TiN/TiCN多层膜腐蚀孔分布不均匀,呈现规则的敞口状形貌。