氧化物薄膜应力的X射线衍射表征与研究

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【摘要】

：

氧化物薄膜由于其丰富的物理性质可广泛地被用于微电子学,光电子学以及微电子机械系统等领域。信息时代的发展要求电子器件集成化,导致了传统的体材器件向薄膜化器件、分离器件向集成化器件转变。氧化物薄膜的微结构、应变、形貌以及性能等都会影响薄膜器件和系统的性能。本文采用了Sin2Ψ和高分辨倒易空间等X射线衍射应力测试方法对BST、CFO和YBCO氧化物薄膜中的应力进行了表征,并对薄膜中的应力与薄膜的微结构和

【作者】

：

邹春梅

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2007年04期

【关键词】

：

氧化物薄膜微结构应力 X射线衍

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