【摘 要】
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采用溶胶-凝胶工艺,将氯化锂作为敏感组元复合到多孔二氧化硅中,经过适当的热处理,可获得在全湿量程范围内阻值范围适中,线性度良好的LiCl/SiO复合湿敏薄膜.并利用了XRD、AFM
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采用溶胶-凝胶工艺,将氯化锂作为敏感组元复合到多孔二氧化硅中,经过适当的热处理,可获得在全湿量程范围内阻值范围适中,线性度良好的LiCl/SiO<,2>复合湿敏薄膜.并利用了XRD、AFM等分析手段,对所制备的复合薄膜的结构进行了研究.采用溶胶-凝胶工艺,将适量的Al<,2>O<,3>引入LiCl/SiO<,2>体系中, 可以获得具有纳米结构的湿敏性能良好的二氧化硅基LiCl/Al<,2>O<,3>复合薄膜. 该薄膜可在全湿量范围内实现对湿度量,并且其脱湿响应时间短,湿滞hui差较小. 该文研究了结果表明了,采用溶胶-凝胶工艺可制备出LiCl/SiO<,2>复合湿敏薄膜和二氧化硅基LiCl/Al<,2>O<,3>复合薄膜,其制备过程简单实用,并且效果良好.
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