PMMA刻蚀特性及非对称槽面的形成

来源 :北京工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bigjohn6120

【作者】

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【机构】

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北京工业大学

【出处】

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北京工业大学

【发表日期】

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1990年期

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