近年来,晶硅太阳能电池的光电转换效率愈加接近理论极限,为了提高光子能量的利用效率,叠层太阳能电池的研究受到了越来越多的关注。经过几年的迅速发展,钙钛矿太阳能电池的效率已经跃升至25.2%,被认为是与硅太阳能电池组成叠层的理想材料。因此,为了能与硅组成叠层太阳能电池,需要对双面透光的半透明钙钛矿太阳能电池进行研究。本文对半透明钙钛矿太阳能电池的相关制备工艺和性能优化进行了研究。通过对常温下ITO薄膜溅射工艺的研究,得到了满足器件电学、光学性能要求的ITO薄膜;使用MoO₃辅助层,成功制备了半透明钙钛矿太阳能电池;使用无机空穴传输层CuSCN代替有机空穴传输层,制备了无辅助层的半透明钙钛矿太阳能电池;最后为了提高CuSCN基的钙钛矿太阳能电池工作稳定性,对CuSCN和电极的界面进行了研究,分析了反应过程和对器件性能的影响机理。取得的研究成果如下:（1）研究了常温溅射条件下溅射时长对ITO薄膜方阻的影响,得到了方阻满足需求的ITO薄膜。研究了溅射电压对ITO薄膜电学性能的影响,对其优化后避免了薄膜载流子不足及O断键过多的问题。研究了溅射气氛中氧分压对ITO薄膜电学性能的影响,探索了在保持导电性能下薄膜迁移率的最优值。通过对透过光谱不同波段行为的分析,研究了溅射电压和氧分压对薄膜的干涉、反射行为的影响。（2）基于n-i-p型的电池结构,使用MoO₃辅助层保护空穴传输层、优化能带结构,制备了半透明钙钛矿太阳能电池。通过优化溅射时间过程,提高了工艺稳定性和器件性能。研究了MoO₃厚度对半透明太阳能电池性能的影响。使用无机空穴传输层CuSCN代替spiro-OMeTAD,制备了无辅助层的半透明钙钛矿太阳能电池,简化了制备工艺,降低了成本,提高了器件稳定性。（3）对CuSCN和金属电极的界面进行研究,通过控制金属电极厚度,分析了界面的化学反应过程,观察到了金属在混入Cu后的XPS峰位位移和Cu²⁺的生成,确定了Cu⁺的歧化反应。分析了该反应对器件性能的影响机理,运用多种手段对其电学性质变化进行了表征。