红外成像系统中宽带增透膜的设计与研制

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近年来,随着红外光谱成像技术的不断成熟,红外成像系统已经成为该技术领域新的研究热点。其中宽带增透膜的应用能大大提高成像系统的光学性能。本文为提高硫化锌基底在红外波段的透过率和稳定性,对增透膜的设计进行理论研究,并对薄膜制备工艺进行优化。通过反复试验,选取合适的薄膜材料,利用电子枪离子束辅助沉积系统进行制备,改善薄膜的牢固度,从而提升薄膜质量。最终研制出光学性能稳定,膜层附着性好的红外增透膜,使其在红外3~5μm波段透过率达到平均98%以上,同时膜层能承受恶劣的使用环境,该薄膜的制备对红外光学系统有着极其重要的意义。
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