长波长垂直腔面发射激光器的关键技术及光纤陀螺用集成光学器件的研制

来源 :中国科学院半导体研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lcyR87777
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,VCSEL)因其本身优点,有望成为扩展光通信领域最理想、最有前途的光源;利用光纤陀螺用集成光学器件,可以降低损耗、功耗和成本,提高光纤陀螺的信噪比和精度,并使光纤陀螺小型化。本文围绕长波长垂直腔面发射激光器和光纤陀螺用集成光学器件开展研究,在国内率先开展了基于InP/Air-gap DBR以及InAs QD有源区两种结构的长波长VCSEL研究,并进行了制作实验,突破了一些关键工艺问题,同时成功制作了高性能、低成本、高集成、小型化的光纤陀螺用集成光学器件样品,论文的主要工作及研究结果如下:   1)详细分析了VCSEL DBR的电学特性,得到了在不同渐变层厚度时DBR的导带图和价带图,指出了采用不同组分缓变层对DBR能带的影响。采用光学特征矩阵方法,分析了突变界面DBR、采用线性组分缓交界面和抛物线型缓变界面DBR的光学特性,及其对VCSEL腔膜的影响。研究了VCSEL结构中采用缓变界面DBR时,其光学特性和突变界面DBR的差别。指出了缓变界面DBR由于缓变层的存在,使得VCSEL谐振腔内光在反射时不满足相位匹配条件,必须增加一个相位匹配层,相位匹配层的位置位于谐振腔和DBR之间,才能使VCSEL,谐振腔满足相位匹配条件,并给出了相位匹配层厚度和组分的计算方法。   2)基于InP基VCSEL难于制作高反射率DBR,在国内率先开展了采用InP/Air-gap DBR的长波长VCSEL研究,并进行了器件制作实验,突破了InP/Air--gap DBR VCSEL制作中台面制备工艺、介质膜DBR制备工艺、选择腐蚀空气隙技术以及空气隙的超临界干燥技术等几个关键工艺问题,为进一步进行InP基长波长VCSEL研究奠定了基础。   3)基于GaAs基VCSEL的成熟工艺和结构,开展了采用InAs/InGaAs量子点作为有源区的GaAs基长波长VCSEL研究,并进行了VCSEL器件制作实验。成功实现了量子点有源区1310nm波长边发射激光器的室温脉冲激射,并突破了GaAs/Al0.9Ga0.1As DBR和GaAs/AlAs DBR的生长工艺,峰值反射率达到99%以上。突破了AlAs湿氧化技术的关键工艺,建立了不同温度和不同AlAs厚度时的氧化模型,实验结果和理论计算结果基本符合。   4)设计并制作了一种新型光纤陀螺用集成光学器件,包括SLD光源、耦合器和探测器,可以克服传统光纤陀螺光路部分中耦合器带来的6dB损耗、成本高、稳定性差、并且器件难以小型化的缺点。解决了单个光学器件之间耦合对准的工艺问题,实现了稳定的激光焊接和宽光谱、高偏振光输出,较好的机械稳定性,器件性能达到国内领先的水平。
其他文献
高效抗逆转录病毒治疗(HAART)的应用,极大的降低了AIDS发病率和死亡率,延长了HIV感染者的生命。但HIV耐药在很大程度上影响了HAART的疗效,耐药株的产生成为影响抗病毒治疗效果的
学位
2007年2-6月,我们对黄河三角洲国家级自然保护区春季迁徙水鸟的群落组成、种群动态、优势种的迁徙规律及丹顶鹤的越冬习性进行了研究,结合往年数据以及气候资料探讨了全球变暖
城市森林生态系统在净化空气、减少地表径流、固定CO2、节约能源等生态效益方面发挥着至关重要的作用。本文试着以GIS为平台,以广州市越秀公园为例,建立一种城市森林生态系统的
羊草是我国北方草原上广泛分布的一种禾本科牧草,其对畜牧业及生态环境有着至关重要的作用,其中,获得大量完整的羊草基因组是进行羊草分子生物学研究的基础.首先对常用的提取
微流控分析芯片是MEMS技术与微流体力学、化学、生物学、医学等学科交叉的产物,它是指最大限度地把采样、稀释、加试剂、反应、分离、检测等分析功能集成为一体的微型全分析系
需冷量指落叶果树打破自然休眠对低温需求的有效小时数,直接影响果树的萌芽率、花芽率及花的大小和一致性,在果树的商业化栽培利用方面具有重要的作用。为探讨中华猕猴桃复合
本文对具有双层多晶硅结构的微波脉冲功率晶体管和镍硅化物材料热稳定性进行了研究。 文章分析了深槽结构的槽深、槽宽以及槽中填充物对器件BC结击穿电压的影响,模拟结果表
本文以长江流域中黑尾近红鲌、中华倒刺鲃、岩原鲤、稀有鮈鲫、华鲮等五种鲤科鱼类为材料,对其早期形态发育、生长、饥饿以及仔鱼固定时的收缩率进行了研究。主要研究结果如
蓝莓(Blueberry),又名蓝浆果,为杜鹃花科(Ericaceae)、越桔属(Vaccinium)多年生灌木。其叶片互生,卵圆形,生长量大,多数落叶,少数南方种常绿。蓝莓种质资源非常丰富,因其果实富含花青
随着射频识别技术(RIFD)的广泛普及和无线传感器网络(WSN)的深入研究,由于二者同属于物联网技术的感知层技术,射频识别传感器网络作为二者技术的融合开始渐渐的引起研究者的