【摘 要】
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本文采用粉末冶金法制备Ti-Mn(Mn:3.0,7.0,10.0 wt%)合金,将Ti-Mn合金阳极氧化制备锰掺杂的氧化钛薄膜。通过改变阳极氧化条件,分别获得了高度有序的纳米管阵列膜和微纳结构多孔膜。采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线能谱仪(XPS)、电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP)、比表面积分析仪(BET)以及电化学工作站等仪器对样品的形貌、结构、元素价态、锰含量、
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本文采用粉末冶金法制备Ti-Mn(Mn:3.0,7.0,10.0 wt%)合金,将Ti-Mn合金阳极氧化制备锰掺杂的氧化钛薄膜。通过改变阳极氧化条件,分别获得了高度有序的纳米管阵列膜和微纳结构多孔膜。采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线能谱仪(XPS)、电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP)、比表面积分析仪(BET)以及电化学工作站等仪器对样品的形貌、结构、元素价态、锰含量、比表面积和电容性能进行了表征和测试,分析了形貌、锰含量以及煅烧温度对薄膜电容性能的影响。1.制备了形貌相
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