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低压人造金刚石薄膜是一种特种功能材料,它具有超硬度、高导热、高绝缘、光学透明性以及化学稳定等优异性能,因此当前被用作功率器件的热沉、刀具的涂层和拉丝的模具等,同时还在场发射和高温半导体器件方面具有的应用前景.金刚石薄膜进一步的应用将取决于大面积、高品质(异质外延、织构、定向薄膜)和有效掺杂的薄膜制备,而后者已明显地需要对化学气相沉积过程中金刚石薄厝成核和生长机理的研究,该文报告了我们在这方面的研究成果.第一章综述了金刚石薄膜结构、性质和相关应用;第二章研究了衬底表面覆盖对薄膜成核和生长的影响;第三章研究了金刚石薄膜的成核和生长机理;第四章分析了金刚石薄膜的成该演变;第五章对化学气相沉积金刚石的生长进行了研究.