产品微型化的发展趋势使微细零件的需求日益旺盛,对其加工技术也提出了更高要求。微冲裁作为微细加工技术的一种,具有生产效率高、成本低、成形零件性能和质量好等优点,是制造微细零件最有前途的加工工艺之一。但微冲裁工艺中存在微小模具难于制作及装配的问题,其限制了该技术的推广与应用。微细电火花加工技术可在任何导电材料上加工多种复杂三维结构,并且可实现在线加工,是制作微冲裁模具的理想工艺。本文提出了一种微冲裁模具微细电火花在线加工工艺,并参与搭建了微冲裁机床微细电火花加工系统实验平台,开发出基于LabVIEW软件的控制程序,在此基础上进行了微冲裁模具加工实验。凹模和反拷贝电极采用微细电火花三维铣削加工技术制作,凸模利用所加工的反拷贝电极采用电火花反拷贝加工技术制作。加工过程中,为提高加工效率,采用超声波辅助振动工作液的方式来促进加工屑的排出。该工艺采用在线加工的方式,一次装夹即可完成凸、凹模具的制作,避免了模具二次装夹产生的位置误差。本文设计了小面积简单形状的方形凸模试加工实验来确定凸模加工过程中的加工间隙值。因微细电火花三维铣削加工技术相比反拷贝加工技术,其工具电极相对工件运动更为复杂,故针对特定形状的凹模及反拷贝电极,设计单独试加工实验确定各自加工过程的加工间隙值。根据所获加工间隙值,利用该工艺成功制作出简单方形和复杂截面异形微冲裁模具。微冲裁模具加工结果分析表明,电火花加工工艺特性会导致模具出现加工斜度,机床主轴悬臂梁结构的热变形会导致模具相应方向出现加工偏差,且该偏差受温度影响会存在一定的随机性。为实现对模具加工质量的控制,本文将模具特征尺寸分为两类,在对其分析的基础上,提出了各类尺寸精度的控制措施。为提高模具制品合格率,本文提出通过控制模具加工误差带和调整模具设计尺寸的方式来保证所加工出的模具能满足公差要求。本文以方形模具为例对微冲裁凸、凹模具装配工艺进行了探索研究,提出了一种基于坐标转化的对准方式。通过分析明确了模具工艺圆角、凸模加工斜度、模具加工精度以及粘附加工屑等对装配工艺产生的影响,为后续进行微冲裁工艺研究奠定了基础。