复合周期与混合结构的“蛾眼”减反射光学超表面的研究

来源 :长春理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rjviva

【摘要】

：

具有减反射效果的光学超表面已经成为当前研究的热点问题。传统的“蛾眼”结构表面能够在限定较短波长范围内实现减反增透效果,大幅提高表面的抗反射能力。然而单一结构下的减反射效果有限,不能够实现在红外超宽谱段范围内的全波段减反射。所以急需一种新颖微纳结构在宽谱红外波段起到更为高效的减反作用。所以本文针对复合周期和混合结构的“蛾眼”减反射光学超表面的设计与制备工艺展开了以下研究。论文首先针对具有复合周期及混

【作者】

：

沈思彤

【出处】

：

长春理工大学

【发表日期】

：

2020年01期

【关键词】

：

复合周期混合结构蛾眼结构减反射时域差分有限元法(FDTD) 傅立叶模态法(FMM) PS微球掩模 ICP刻蚀

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