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一种MEMS压电加速度计的三维有限元模拟

来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：youtodown1

【作 者】

：

马国民 

【出 处】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2021年01期

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