铈基抛光粉是一种优秀的抛光材料，以其独特的抛光性能及质量，广泛应用于光学玻璃。尤其是近年来其应用领域得到不断扩展，用来研磨用于电气器件和电子器件的玻璃材料，例如作为用于硬盘等的磁记录介质的玻璃和用于液晶显示器的玻璃基板。 基于传统光学领域和液晶显示器领域对于抛光粉的综合性能要求差别较大，本文将以切削率和划痕作为评判抛光粉综合性能好坏的标准。 本文以氟化盐(即氟化铵和氟化钠)为原料对稀土碳酸盐进行氟化，避免了使用传统氟化工艺中的强腐蚀性的氢氟酸原料和不易操作等缺点。在传统的稀土碳酸盐氟化工艺中，是直接氟化碳酸稀土。由于碳酸稀土是由稀土碳酸盐粗粒子粘结在一起的团聚体组成，如果直接氟化，仅仅是对团聚体表面氟化，造成其研磨性能下降。 本文首先将稀土碳酸盐进行研磨，使其解聚之后再进行氟化。在氟化工艺中，研究了氟化体系pH值、氟化盐种类、氟化时间和温度等四个工艺参数。前两个工艺参数对抛光粉的综合性能有主导作用：在弱碱性、氟化铵存在条件下进行氟化，有利于提高抛光粉的综合性能。 本文根据氟碳酸盐的热重分析曲线设计了KTO灼烧曲线，即分阶段灼烧法。在KTO灼烧曲线中，研究了氟碳酸盐分解温度(℃)、氟碳酸盐分解时间(h)、灼烧温度(℃)、灼烧时间(h)等四个因素。其中前两个因素的选择决定了划痕，后两个因素决定了切削率。对于综合性能优异的抛光粉，其切削率与划痕的数量是成反比的：划痕少、切削率高；反之亦然。 本文阐述了抛光粉的可能抛光机理为：在抛光过程中，抛光粉通过粗抛的机械抛光和精抛的化学抛光，将在压力作用下水解的玻璃表面逐步研磨、切削、腐蚀，到达抛光效果。同时，抛光粉的蜂窝状团聚体以其表面是微面的优势，在对玻璃抛光时，每一个微面对玻璃表面都有研磨、切削、腐蚀的作用，产生细微的划痕。因微面尺寸较小，其产生的划痕也较浅，同时又有较多个微面同时抛光，即将凸凹不平的玻璃表面切削成宏观意义上的光滑表面。