基于隧穿磁阻效应的MEMS重力敏感器,由于高灵敏度、体积小、功耗低等优点,逐渐在高精度重力测量设备领域得到广泛应用。本文结合MEMS制造工艺,设计了隧穿磁阻式重力敏感器的结构和检测电路,并对静电力反馈闭环控制技术进行了研究,主要的研究内容及相关结论如下:（1）分析了隧穿磁电阻的优点并说明隧穿磁阻效应的原理,构建了隧穿磁阻式重力敏感器的基本力学模型,研究了研制的隧穿磁阻式重力敏感器的磁场产生原理和重力加速度信号的检测原理。（2）设计了隧穿磁阻式重力敏感器结构,详细分析了隧穿磁阻式重力敏感器各部分结构设计、工作原理和整体结构特点;利用ANSYS软件对敏感质量块开展了静力学和模态仿真分析,优化连接梁结构参数;利用Maxwell软件对下基板组件进行了电磁学仿真分析,确定隧穿磁阻式重力敏感器达到较好工作状态时的电磁参数;建立了隧穿磁阻周围磁场强度与输入加速度的关系模型。根据仿真结果,隧穿磁阻式重力敏感器的量程为2g,灵敏度为5.413μm/g。（3）基于隧穿磁阻式重力敏感器的结构和检测原理,设计了信号检测电路方案。针对环境磁干扰问题,提出一种高频脉冲磁场调制方法,利用Maxwell软件进行仿真论证;基于高频磁场脉冲调制方法研究并设计了接口电路、前置放大电路和检波电路,利用Multisim软件对上述电路进行可行性仿真,并通过实验测试电路性能。（4）基于隧穿磁阻式重力敏感器的结构,研究了静电力反馈闭环工作原理,建立反馈控制的力学模型;研究了模拟式静电力反馈控制方法,设计了PI控制电路并利用Simulink建立静电力反馈控制仿真模型并分析了系统性能;研究了数字式静电力反馈控制方法,并基于FPGA设计了数字式反馈控制方案。本文开展的研究工作,为隧穿磁阻式重力敏感器的研制提供了一种实现方案,对未来的相关研究具有一定指导意义。