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随着IC芯片向高集成度、微型化、细间距的不断发展,对热超声键合换能器的运动柔性、键合效率和振幅输出特性等提出了更高要求,换能器也从单支路结构逐渐向着复合结构方向发展。基于此本课题提出一种柔性夹持的双支路复合结构高频压电超声换能器,对其结构尺寸和夹持方式进行动力学优化设计,深入分析其动力学行为特性变化与合成规律,主要内容如下:(1)提出一种两级圆锥形变幅杆与阶梯-圆锥复合形变幅杆为一体的双支路换能器,前后工作端可以输出不同振幅,实现了向后盖板传递的超声能量的有效利用。结合机电等效电路和四端网络方法,分