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电致变色是材料在紫外、可见、近红外区域的的光学特性在外加电场的作用下表现出的稳定、可逆变化的一种现象。具有这种性能的材料统称为电致变色材料,而用电致变色材料制成的器件即为电致变色器件。本论文从电致变色的原理出发,采用无机物靶材,用磁控溅射的方法,制作了电致变色器件的各层薄膜,表征分析了各膜层的微结构及光学等物理性质。在此基础上,通过优化各层薄膜的溅射工艺,使膜层之间具备良好的附着效应并与器件变色性能兼容匹配。最后在洁净的FTO基底上依次制备了组成电致变色器件的各薄膜,测试了其电致变色性能。采用高纯金