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【摘 要】
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薄膜材料在微电子、微机电制造、光学等高新领域已经得到广泛应用，然而测定薄膜材料力学性能的方法还不成熟。如何准确和简单地表征薄膜材料力学特性是固体力学的研究热点。现
【机 构】
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同济大学
【出 处】
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同济大学航空航天与力学学院 同济大学
【发表日期】
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2004年期
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