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该文研究了MOCVD GaInP材料制备中新源TBP的物理化学及应用,生长出了性能与用PH<,3>时接近的Ga<,0.51>In<,0.49>P外延层.
MOCVD GaInP材料制备中新源TBP的物理化学及应用
【摘 要】
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该文研究了MOCVD GaInP材料制备中新源TBP的物理化学及应用,生长出了性能与用PH时接近的GaInP外延层.
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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中国科学院上海冶金研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【发表日期】
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1995年期
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