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【摘 要】
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随着MEMS技术的飞速发展,金属微器件作为微传感／执行器的核心部件在医疗、生物、航空航天等领域的需求日益增多。同时,基于UV-LIGA技术制作金属微结构的方法也逐渐受到人们的
【机 构】
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大连理工大学
【出 处】
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大连理工大学
【发表日期】
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2014年期
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