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湿法光刻技术是通过在最后一级投影物镜与硅片之间填充一层高纯液体,从而获得优于传统干式光刻技术的分辨率,使用该技术的湿法光刻机是目前最先进的IC生产装备之一。湿法光刻机中,有一个用于控制高纯液体的注入与回收、维持湿法光刻工作流场的稳定的ICU结构。为了对ICU的结构进行优化设计,需要对ICU及流经该ICU形成的湿法光刻工作流场进行相关的性能测试与观测；为了得到更加可信的试验数据,需要在接近湿法光刻机正常工作的工况下进行相关试验。所以设计开发一套ICU测试用运动台系统具有非常重要的意义。根据对