随着液晶平板技术的发展,大尺寸液晶平板的在线传输和检测也越来越受到人们的重视。传统的方式已不能满足生产的实际需求,自第7代生产线以后,均采用无接触气浮传输和检测平台对平板进行传输和检测。按照供压方式的区别,气浮平台分为正压空气平台和负压吸附式气浮平台。后者具有正负压交错布置的出口,因此,与前者相比,压强在气膜的分布更加平稳,更适合应用于液晶显示屏的表面缺陷(精度为1μm)的在线检测系统。文中建立起负压吸附式气浮平台的流域结构模型,由于气浮平台的气浮特性与气浮平台本身的结构参数和节流孔的几何参数密切相关,通过数值模拟,得到气浮台相关结构的理想参数,从而保证负压吸附式气浮平台气浮间隙的高稳定。利用CFD(Computational Fluid Dynamics)技术进行划分网格和仿真计算,经过后处理,观察流域中压强、速率、质量流量及承载力的大小,然后改变气源压力(正压和负压)及几何参数的大小,探究流体静态特性的变化规律。得出结论:气源压力、节流孔径、节流管高度、气膜厚度,对气体静态特性均有不同程度的影响,气膜内的承载力与正压变化成正比,与负压和气膜厚度变化成反比,节流孔和节流管的微小变化对静态特性的影响不明显。流域中最大的压降位置是折线形的节流弯道处,并且气体达到气膜前,压强大小保持稳定;进出口质量流量保持守恒,并且负压出口占进口的35%左右,其余流入大气。最后与正压空气平台比较得出:负压吸附式气浮平台气膜内的压强分布更加均匀,获得的气膜更加平稳。论文中模拟的结果对指导气浮平台的结构设计有积极的作用,但由于影响其特性的因素还很多,例如折线弯道的角度,节流孔的排列方式等,因此,如何得出最优化的结果还需要进行大量的研究和实验。