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金属氧化物掺杂对TiO2气敏特性的影响
金属氧化物掺杂对TiO2气敏特性的影响
来源 :传感器世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:andychinajj
【摘 要】
:
掺杂金属氧化物可显著提高TiO2的气敏这一特性,正逐渐成为研究的热点。本文综述了掺杂金属氧化物对TiO2气敏特性的主要影响及机理;总结了目前研究中所掺杂的十多种金属氧化物
【作 者】
:
戴振清
孙以材
潘国峰
李国玉
陈志永
张艳辉
赵建立
【机 构】
:
河北工业大学微电子研究所;河北工业大学微电子研究所;
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
2003年09期
【关键词】
:
TiO2
掺杂
金属氧化物
气敏特性
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掺杂金属氧化物可显著提高TiO2的气敏这一特性,正逐渐成为研究的热点。本文综述了掺杂金属氧化物对TiO2气敏特性的主要影响及机理;总结了目前研究中所掺杂的十多种金属氧化物,并就各种掺杂物对TiO2气敏特性的作用进行了具体分析。
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