相位解缠算法最初运用于INSAR数据的分析,后来应用于地形图的绘制。从上世纪90年代中期开始,相位解缠算法随MEMS技术逐渐发展,成为目前最先进的MEMS动态测试技术中频闪显微干涉系统(SMIS)测量MEMS表面形貌的关键部分。相位解缠算法的优劣程度直接关系到MEMS参数检测仪器中的特性参数设置及其测试精度。课题主要研究用于恢复变形镜表面三维形貌图的相位解缠算法。首先介绍了相位解缠算法的国内外发展现状、课题研究背景、论文来源及主要研究内容,然后在介绍了干涉相位解缠原理的基础上,对路径跟踪法和最小范数法这两种基本算法进行分析。课题主要侧重于研究最小二乘相位解缠算法。首先介绍了最小二乘法的基本原理,分别对离散余弦变换法及多重网格法思想进行阐述,并展示了各自的算法实现步骤;然后将离散余弦变换法和多重网格算法分别应用于最小二乘法中来复原仿真图形的三维形貌;通过模拟仿真得出的相位图和数据来比较引入这两种算法后收敛速度的快慢和标准偏差值的大小,然后介绍了加权最小二乘法的原理及将多重网格算法应用于其中的算法实现步骤,得出该算法在有噪声情况时的优越性。本课题最后得出的实测数据表明:加权最小二乘法运用于相位解缠,可以较好地得到MEMS-DMs的表面形貌图,为后续MEMS的特性测试提供了保障。