【摘 要】
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光纤传感器自上世纪八十年代开始发展,其不同的结构与加工可达到不同的传感目的,现已成为传感领域热门的研究方向。其中,膜片式光纤法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)传感器可以获得较
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光纤传感器自上世纪八十年代开始发展,其不同的结构与加工可达到不同的传感目的,现已成为传感领域热门的研究方向。其中,膜片式光纤法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)传感器可以获得较高的灵敏度,成为最常用的干涉型光纤压力传感器之一,它具有损耗低、抗干扰、灵敏度高、线性度好、测量精度高、动态范围大等优良特性。基于三维周期性结构的折射率传感器提供了高效率、高重复性的光与光子晶体相互作用的平台,只要提取部分反射信号即可分析光与光子晶体的相互作用,这种检测方式大大提高了系统对微弱信号的检测能力,同时也可以明显减少探测噪声。 本文设计并制作了膜片式光纤F-P压力传感器。膜片材料的选取对传感器性能有重要影响,为得到更高的灵敏度,本文选用波纹膜作为传感器的敏感元件,并通过仿真软件对其进行了力学仿真以及结构参数的优化。直接结合商用的光纤跳线和法兰盘制作的传感器解决了光纤对准问题,提高了信号解调的精度。介绍了实验搭建的传感器压力和温度的测试系统以及测试过程,实验表明该微压传感器具有良好的线性度、迟滞性和重复性且灵敏度高,在0~0.1MPa范围内,灵敏度为518.02μm/MPa。传感器F-P腔长随温度的变化近似呈线性关系,有利于通过温度补偿来提高传感器精度。本传感器结构简单,取材便捷,成本低廉,适用于批量生产。 研究了采用溶胶凝胶协同自组装法制备三维周期性结构的整套方法流程和工艺参数,结合端面镀银膜的45°多模光纤搭建独特的光路并观测其反射光谱,提出该结构在折射率传感领域的应用原理及前景。该结构的制备方法简单、成本低、具有较好的应用潜质。
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