微机械谐振式生物传感器具有灵敏度高,无需荧光标记,可用于现场检测等优点,得到了广泛的应用。但直接将其用于液相检测,由于阻尼很大,其品质因数大大降低。因此,如何提高谐振器在液相中的品质因数成为研究的热点。为此,本论文设计工作于扭转模态的双端固支的十字梁(称为扭摆谐振器),并对其设计、加工及测试方面进行了研究。　　 通过实验对比了氮化硅和SU-8的各项性能,并对SU-8的干法刻蚀及如何提高SU-8与硅衬底的结合力进行了研究。综合考虑工艺复杂度及可行性,选择氮化硅作为结构材料。考虑到制作工艺的复杂度及驱动效率,本文中的扭摆谐振器采用电磁激励、电磁敏感的方式；建立扭摆谐振器的振动方程,分析其质量敏感机理,并通过MATLAB及有限元分析软件进行结构设计及优化；采用MEMS工艺制作扭摆谐振器,对低应力氮化硅薄膜的制备、反应等离子体刻蚀(RIE)、低温绝缘层的淀积及湿法腐蚀等关键技术进行了研究。　　 对扭摆谐振器在真空、空气及液相中的振动特性进行了测试。1.3Pa时品质因数为13664,大气中的品质因数为596；空气中的非线性测试表明,该谐振器在加大电压时呈现软弹簧的特性；针对液相中阻尼较大的特点设计可输出大电流的驱动电路,并根据扭摆的输出与速度相关的特点设计了能量补偿电路,此电路可对能量损失进行有效的补偿,扭摆在液相中的品质因数由2.65提高到了40。