磁控溅射法制备Cr-CrO太阳能选择吸收涂层研究

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【摘要】

：

太阳能光谱选择吸收光热转换涂层制备技术是太阳能应用中的一项关键技术。但现阶段存在稳定性差、重复性低和转换效率低等问题。如何更好地发展太阳能选择吸收光热转换涂层技术显得尤为重要。本文通过射频反应磁控溅射技术制备Ti-O系薄膜、CrO系薄膜和具有金属浓度梯度的Cr-CrO系薄膜,研究了所制备薄膜的微观结构和光学性能,分析了氧气含量、射频源功率、靶间距离和溅射时间等工艺参数对薄膜结构和性能的影响。探讨高

【作者】

：

万维威

【机构】

：

中南民族大学

【发表日期】

：

2010年04期

【关键词】

：

射频反应磁控溅射 Ti-O Cr-CrO 梯度膜光吸收反射率

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