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场发射阴极作为真空微电子器件的核心部分,其性能的好坏直接影响真空微电子器件的整体性能。因此,寻找实用的场致发射阴极材料,优化场发射阴极制备工艺成为真空微电子器件的研究重点。本论文对场致电子发射(场发射)的发展作了回顾,并对场发射理论和应用等作了一些介绍。已有的碳纳米材料包括一维的碳纳米管、碳纳米纤维,以及二维的碳纳米片等材料具有的大的长宽比,低功函数,良好的导电性和纳米级的尖端,使它能够在相对较低的电压下就能长时间发射电子,因此被认为是一种优良的场发射材料。本论文在碳纳米管生长和场发射特