【摘 要】
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该文在充分调研了目前的各种射频滤波器的基础上,提出了基于微电子机械系统技术的采用高品质PZT压电薄膜的射频体声彼谐振器、滤波器.该射频体声波谐振器用到了电极-压电薄膜
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该文在充分调研了目前的各种射频滤波器的基础上,提出了基于微电子机械系统技术的采用高品质PZT压电薄膜的射频体声彼谐振器、滤波器.该射频体声波谐振器用到了电极-压电薄膜-电极的夹心结构,利用微电子机械系统技术,可以实现衬底腐蚀,减少声能在衬底中的损耗,从而提高滤波器的品质.对压电振子有效部分之下的硅衬底的刻蚀还减少了对振子的质量负载,同时由于压电薄膜制备技术的成熟,薄膜体声波谐振器的工作频率可以提高到GHz以上.该文对基于微电子机械系统技术的射频带通滤波器的器件结构进行了模拟计算,分析了影响谐振频点的各种因素,提出了调整体声波谐振器频点的新方法.在此基础上设计了梯形联结的射频体声波谐振器.文章记述了PZT压电薄膜的制备技术,分析手段及优化方法,对PT种子层的采用,热处理温度的选取,退火技术进行了讨论.研究了对PZT薄膜的湿法刻蚀技术.在理论计算和材料研究的基础上,完成了射频体声波谐振器、滤波器的工艺,版图设计,进行了工艺流水.得到了射频体声波谐振器的器件原型,并对器件的性能进行了测试.
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