【摘 要】
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该论文首先总结了激光对固体靶烧蚀的各种应用,与其理论方面的研究情况.该论文针对目前在脉冲激光烧蚀方面应用较为广泛的脉冲激光沉积技术,以对硅靶的烧蚀为例,为烧蚀过程与
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该论文首先总结了激光对固体靶烧蚀的各种应用,与其理论方面的研究情况.该论文针对目前在脉冲激光烧蚀方面应用较为广泛的脉冲激光沉积技术,以对硅靶的烧蚀为例,为烧蚀过程与其后的气体动力学过程建立了理论模型,并结合现有实验条件的各种参数进行讨论,模拟了在不同条件下的烧蚀行为.该论文还对与烧蚀紧密相联的气体动力学过程作了讨论,将烧蚀羽(plume)与背景气体做出了全面的考虑,建立了可以处理激波的理论模型.为脉冲激光沉积过程提出了切实可行的模拟方法.
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