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在利用干涉仪对光学元件进行高精度面形检测时,需要对标准具进行多维调整,现有的调整架多为手动调整,效率比较低,并且分辨力低。针对这一问题,本文设计出一款高分辨力、稳定性好的电动五维调整架。文章中对调整架的功能进行了详细分析,通过对驱动系统、微调结构等其他子系统进行计算与选型,初步确定了调整架的设计方案。论文中应用有限元分析软件ANSYS对利用CATIA建立的三维模型进行了仿真分析,针对一些关键受力结构进行静力学分析及优化。另外对调整架的模态与响应谱也做了研究,通过软件仿真找出其薄弱环节并进行结构优化。