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高压脉冲电源在激光技术、电火花加工、脉冲电镀、电弧焊接等领域获得了广泛的应用。在激光技术领域,为了得到峰值功率高,脉冲宽度窄的激光脉冲,通常采用调Q激光模式工作,这样就需要在调Q晶体上加数千伏的高压脉冲。由于调Q电源对脉冲的宽度及上升沿和下降沿有着特殊的要求,并且应用领域相对较窄,使得国内外研究相对较少,价格昂贵,成本较高。本文根据调Q CO2激光器的要求,设计了一种以功率MOSFET为开关器件的高速高压脉冲电源。本文首先介绍了功率MOSFET的工作原理,分析了它的模型参数,设计了基于H桥的驱动及开关电路和基于推挽电路的驱动及开关电路。并且制作完成了基于FPGA并采用计数器计数方式的信号发生电路,触发信号频率数1k10k可调和以及脉宽为500ns-2000ns可调。还设计了多个MOSFET级联的高压开关电路和脉冲变压器。其中高压开关电路提高了脉冲的电压幅值,而脉冲变压器实现电气隔离和同步多路触发信号,每路触发信号控制一个单元电路的开与关。然后根据开关电路驱动的具体要求,设计了多路隔离的低压直流电源,其输出电压可调,从而为整个系统稳定工作提供了保障。采用现有的模块搭建了输出电压1000V的高压直流电源,同时大大缩小了实验系统的体积。实验测得了该电路系统在不同电压及负载上的脉冲波形。在负载为1k（?）,高压直流电压为1000V时,测试结果为脉冲宽度在500-2000ns可调,脉冲的上升沿和下降沿在150ns左右,能够满足调Q CO2激光器的设计要求。本文设计的高压脉冲电源,验证了方案的可行性,能够满足激光器的实验要求,同时可以大大降低实验成本,具有结构简单,成本低的优点。