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针对危化品储运监测的问题及关键技术,本论文按照863科研项目《面向安全监测与跟踪的网络化微系统》的课题要求,主要从事热释电红外探测器敏感元的研究。伴随微电子机械系统(MEMS)的发展, MEMS器件在尺寸(微米/纳米量级)、体积、质量、功耗、响应时间上都得到极大提升。本文利用MEMS工艺在硅基底上制备锆钛酸铅薄膜,并通过一系列基础性研究探求高性能锆钛酸铅薄膜材料的制备技术。论文利用溶胶凝胶法制备三种不同锆钛比的锆钛酸铅材料,确定先体溶液原料为乙酸铅、四正丁氧基锆及钛酸四丁酯,采用四正丁氧基