【摘 要】
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微机械加速度计作为一种重要的惯性传感器,在惯性制导、汽车、消费电子等各领域都有广泛的应用前景。本文在对电容式闭环微机械加速度计的机械结构、信号检测原理及闭环工作原理详细分析的基础上,利用0.5μm CMOS工艺库完成了基于连续时间反馈的闭环加速度计系统ASIC设计。基于连续时间反馈原理的闭环加速度计接口电路主要由3部分构成:信号检测与处理电路、反馈控制电路和波形产生电路。其中信号检测与处理电路主要
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微机械加速度计作为一种重要的惯性传感器,在惯性制导、汽车、消费电子等各领域都有广泛的应用前景。本文在对电容式闭环微机械加速度计的机械结构、信号检测原理及闭环工作原理详细分析的基础上,利用0.5μm CMOS工艺库完成了基于连续时间反馈的闭环加速度计系统ASIC设计。基于连续时间反馈原理的闭环加速度计接口电路主要由3部分构成:信号检测与处理电路、反馈控制电路和波形产生电路。其中信号检测与处理电路主要包括电荷敏感放大器、高通滤波器、斩波解调电路、低通滤波器和仪表放大器,这部分电路能够完成输入
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