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微机械电子系统(MEMS)是集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微型系统,其特点可归结为体积小、质量轻、功耗低。微马达是微机械电子系统重要的执行器件之一,对整个系统的性能有举足轻重的影响。目前虽已有电磁、静电、压电、超声等多种驱动形式的微马达问世,但不免有其各自的缺点。近几年,一种百年前就被发现但一直认识不足的一种驱动方法-电水动力越来越受到各国科学家的关注,并将其应用到微泵、生物粒子分离芯片等各个领域。目前,国际对电水动力微泵的研究较多,对电水动力微马达的研究甚少,而