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压电材料被广泛应用于压电致动器、传感器和转换器中,尤其是压电薄膜以高的使用频率、大的可利用的能量密度、宽范围内的高敏感性和低损耗等优势广泛应用于微电子机械系统(MEMS)中。Na0.5Bi0.5TiO3(NBT)基无铅压电材料以其良好的铁电和热释电性能成为目前最受重视的无铅压电材料之一。众所周知,有效提高压电性能办法是设计准同型相界(MPB),成分诱发相变。所以,本文通过溶胶凝胶法制备了掺杂BaTiO3(BT)的(1-x)NBT-xBT薄膜,设计准同型相界,研究MPB附近成分对压电效应的影响。此外,